半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質(zhì)。
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程：
① 預處理－反滲透－水箱－陽(yáng)床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線(xiàn)殺菌器－精制混床－精密過(guò)濾器－用水對象
② 預處理－一級反滲透－加藥機( PH調節)－中間水箱－第二級反滲透－純化水箱－純水泵－紫外線(xiàn)殺菌器－0.2或0.5 μ m精密過(guò)濾器－用水對象
③ 預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線(xiàn)殺菌器－0.2或0.5 μ m精密過(guò)濾器－用水對象
④ 預處理--反滲透--中間水箱--水泵--EDI裝置--純化水箱--純水泵--紫外線(xiàn)殺菌器--精制拋光混床---TOC分解器－0.2或0.5 μ m精密過(guò)濾器－用水對象 (新工藝)
電子超純水設備特點(diǎn)：
設備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構成前期預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（EDI電除鹽系統）系統等構成主要設備系統。水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法，使設備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較，具有更高的性?xún)r(jià)比和設備可靠性。
電子超純水應用領(lǐng)域：
⊙ 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
⊙ 超純材料和超純化學(xué)試劑；
⊙ 實(shí)驗室和中試車(chē)間；
⊙ 汽車(chē)、家電表面拋光處理；
⊙ 光電產(chǎn)品；
⊙ 其他高科技精微產(chǎn)品；
